依据美国政府颁布的标准,可将无尘车间分为六级。分别是1级、10级、100级、1000级、10000级、100000级。
1级:
这个级别的无尘车间主要用于制造集成电路的微电子工业。
10级:
这个级别的无尘车间主要用于带宽小于2微米的半导体工业。
100级:
100级无尘室可用于医药工业的无菌制造工艺等。
1000级:
这个级别的无尘车间主要用于高质量光学产品的生产。
10000级:
万级无尘车间用于液压设备或气压设备的装配。
100000级:
十万级无尘车间用于很多的工业部门。
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