应变式的原理是力改变弹性敏感元件的几何尺寸,导致应变片伸长或缩短,进而导致材料电阻的变化,外力可以通过检测电阻的变化来测量。压阻式的原理是当一个力作用在硅晶体上时,晶格发生形变,使硅的电阻率发生变化。原则上,应变压力传感器是一种外部压力(或张力)导致应变材料的几何形状(长度或宽度)改变,进而导致材料电阻改变的传感器。外力的大小可以通过检测电阻变化来测量。应变传感器采用电阻应变片和灵敏的弹性金属结构;压阻传感器由单晶硅制成压阻式压力传感器通常是半导体压敏材料。
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